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        產品詳情
        • 產品名稱:iH600 愛德華真空泵維修

        • 產品型號:iH600
        • 產品廠商:其它品牌
        • 產品文檔:
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        簡單介紹:
        iH600 愛德華真空泵維修 Edwards真空泵修理 晶圓廠真空泵維修保養 iH600保養維修 iH600真空泵配件供應
        詳情介紹:

        Edwards iH 干泵為高難度的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產品)提供高度、成本低廉的泵解決方案。iH 系列具有五級主泵,使用的懸臂式轉子、爪式和羅茨設計,可改善粉塵的處理,減少排氣噪音。此外,iH 系列泵配有一臺單級機械增壓泵和封閉的水冷卻電機。

        Edwards 級半導體真空泵已經過現場應用證明,可以按照高工作標準運行。通過延長使用壽命、提高運行時間并提高生產率,同時大程度地減小占地面積、降低運行成本,實現了高的性和性能。
         
        iH 系列為難以執行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高性。

        功能和優勢

        優化了設施消耗。
        無需預防性維護。
        懸臂軸和的異型轉子便于顆粒的處理。
        在節省電機功率的同時大程度提高了工作繁重的 CVD 應用條件下的穩定性。
        耐腐蝕的制造材料允許泵送腐蝕性氣體。
        較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的。
        整體式軸桿無需使用電機聯結器,而第五級泵消除了使用消音器的需要并消除了顆粒堆積,從而降低了總體占地面積。

        應用

        負載鎖
        輸送
        計量
        平版印刷
        PVD 制程
        PVD 預清潔
        RTA
        剝離/灰化
        刻蝕
        植入源
        HDP CVD
        RTP
        SACVD
        MCVD
        PECVD
        LPCVD
        ALD

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        滬公網安備 31011702004252號

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